常用工具
医生入驻免费问医生本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" width="100%" height="100%" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">HD 70556
雙子座6
獵戶座U
HD 60345
金牛座83
HD 62647
HD 71196
HD 73072

风卷清云尽,
空天万里霜。
本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第330期玻璃周刊吧!


国际动态

1、Furnotherm:为Beta Glass进行的破纪录玻璃熔炉重建工程
弗诺瑟姆(Furnotherm)在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目,即为尼日利亚的贝塔玻璃(Beta Glass)重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司(BDF Industries)负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行,并在极短的时间内完成交付。


2、环球玻璃领航者开启可持续玻璃生产新篇章
荷兰环球玻璃集团(Global Glass Group)与中国香港立道创新(HK Leadus Innovation)合资成立的环球玻璃立道(Global Glass Leadus),将开设全球首家循环真空绝热玻璃(VIG)工厂。
这一全球首创的项目将使荷兰成为西北欧的玻璃创新中心,从而在世界地图上占据一席之地。
这标志着Leadus国际扩张战略中的一个重要里程碑,也是建立在信任与合作基础上的合作伙伴关系的深化。


3、霍恩:为四川天马玻璃公司调试的新型端烧式熔炉已启用
全球顶级技术供应商霍恩玻璃工业公司最近在中国射洪市的新容器玻璃厂为四川天马玻璃有限公司启动了一座日产170吨的端燃式熔炉。
这款新型可持续玻璃熔窑的熔面面积为101平方米,设计有6条生产线,用于生产超级燧石玻璃。
该熔炉配备了最新的低二氧化碳玻璃熔融技术,将实现可靠、节能且高质量的玻璃生产。


4、格伦巴赫收购新哈德逊的资产和知识产权
自9月30日起,位于佐治亚州纽南的格伦泽巴赫公司已收购新哈德森公司的资产和知识产权(IP),后者是退火窑辊设计、制造和维护领域的知名供应商。
60多年来,New Hudson一直是退火窑辊道的领先供应商,在全球250多条浮法玻璃生产线中安装了数千根辊道。该公司在全球玻璃行业中建立了可靠和技术卓越的良好声誉。


国内新闻
(以下排序不分先后)

1、中国加工玻璃骨干企业工作会在安徽蚌埠召开
2025年10月16日,中国建筑玻璃与工业玻璃协会(以下简称“玻璃协会”)在安徽蚌埠组织召开“中国加工玻璃骨干企业工作会议”。出席会议的协会领导有:玻璃协会会长张佰恒,副会长陆铭红、阮洪良、王有强、孙成海、陈全福,加工玻璃G30企业董事长或总经理,中空玻璃、安全玻璃和镀膜玻璃专业委员会常委成员、特邀代表(设备及配套材料企业负责人)共计107人出席了会议。会议同期召开了“加工玻璃行业领军企业家座谈会议”。会议由玻璃协会秘书长李会主持。


2、玻璃企业装光伏怕起火,就选“防起火”光伏组件
不久前,全国重要的玻璃产地——河北沙河某玻璃厂屋顶光伏电站突发火灾,明火与浓烟迅速蔓延,虽经厂区消防力量及时处置,火势被控制在局部范围,但这一事件仍为玻璃行业光伏应用敲响警钟。事实上,光伏电站起火并非个例,据不完全统计,今年以来公开报道的光伏电站起火事件已超百起。通过消防部门通报及媒体深度调查梳理发现,常规组件缺陷、直流拉弧现象、施工操作不当,是引发此类事故的三大核心原因。


3、中力玻璃再次入选“中国加工玻璃30强”称号
近日,中国加工玻璃行业最高规格和最高质量的会议,由中国建筑玻璃与工业玻璃协会举办的“第十三届中国加工玻璃行业领军企业家会议”在安徽蚌埠隆重召开,中力玻璃有限公司总经理王国华参加了此次会议,与全国TOP30加工玻璃企业家汇聚一堂,就行业发展状况和未来发展趋势展开深度讨论。


4、豫科光学年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式圆满举行
10月18日上午,豫科光学迎来发展史上里程碑时刻——年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式在公司5号车间隆重举行。公司董事长景志杰携核心管理团队出席,与全体员工共同见证这一重要时刻,现场鞭炮齐鸣、烟花绽放,奏响豫科光学向高端智造领域跨越的新序曲。


5、中玻跨境即将走进土耳其
土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。
展会时间:2025年11月15-18日
展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心



END
(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)

" width="100%" height="100%" alt="330期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.20">
九州殊口三
天貓座23

HD 68312
首先,家具物流细分市场具有以下特点。一方面,家具产品种类繁多,包括实木家具、板式家具、软体家具等,每种家具都有其特定的运输和仓储要求。另一方面,不同地区的消费者对家具的需求也存在差异,这就要求家具物流企业能够提供灵活多样的服务。此外,家具物流还涉及到安装、配送等环节,需要与其他相关企业密切合作。
在发展趋势方面,家具物流细分市场呈现出以下几个方向。一是专业化,越来越多的企业开始专注于某一类型或某一地区的家具物流服务,以提高服务质量和效率。二是智能化,借助信息技术和物联网技术,实现物流过程的可视化和可控化,提高物流管理水平。三是绿色化,随着环保意识的增强,绿色物流成为家具物流的发展趋势,企业需要在包装、运输等环节采取环保措施。
面对家具物流细分市场的机遇与挑战,相关企业应采取以下策略。一是加强品牌建设,通过提供优质的服务,树立良好的品牌形象,提高市场竞争力。二是提升物流技术水平,加大对信息化、智能化技术的投入,优化物流流程,提高物流效率。三是拓展服务领域,除了传统的运输、仓储服务外,还可以提供配送、安装、售后等增值服务,满足客户多样化的需求。四是加强合作与联盟,与家具制造商、经销商等建立长期合作关系,共同开拓市场。
总之,家具物流细分市场充满机遇与挑战。企业应充分了解市场需求和发展趋势,不断提升自身实力,以适应市场变化,在竞争中取得优势。
" alt="家具物流细分市场的机遇与挑战 顺德家具网-" style="display: block;">
HD 70982

HD 70523

HD 60275

HD 63822
PChome3月25日消息,联合创新正式推出新款34英寸带鱼屏显示器34C1R,主打1440P分辨率、高刷新率与广色域覆盖,首发价1799元(原价1999元),精准定位专注专业办公,又兼顾轻度游戏娱乐的高性价比市场。

性能方面,这款显示器采用34英寸IPS直面屏,21:9带鱼屏比例搭配3440×1440准4K分辨率,静态对比度1000:1,峰值亮度400尼特,支持HDR400,画面细节清晰、明暗层次丰富。刷新率上,原生165Hz可超频至180Hz,搭配Adaptive-Sync防撕裂技术,兼容FreeSync与G-Sync,有效减少游戏拖影和画面撕裂,提升电竞体验。
色彩表现出众,覆盖99% sRGB、96% DCI-P3、92% Adobe RGB色域,8bit色深搭配ΔE<2出厂校色,每台配备独立校色报告,还支持六轴手动调色,适配专业设计、视频剪辑等需求。

同时标配人体工学支架,支持0-120mm升降、-5°~15°俯仰及30°左右旋转,预留100×100mm VESA壁挂孔,适配不同使用场景。接口丰富,双HDMI 2.0+双DP 1.4接口支持PIP/PBP分屏功能,可同时连接两台主机,内置双3W扬声器与3.5mm音频接口,满足日常视听需求。
PChome认为,从价格来讲,1799元的首发价极具竞争力,相比同价位VA曲面屏,IPS面板在色彩通透性和可视角度上更具优势,既能以180Hz高刷满足轻度电竞需求,又能凭借广色域与精准校色适配专业场景,成为多用途用户的高性价比之选。

阙丘增七

五车增十

船底座V386

諸王增四

月落乌啼霜满天,江枫渔火对愁眠。本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第329期玻璃周刊吧!


国际动态

1、GlassKote FGI投资超过12亿澳元建设两座浮法玻璃厂
在全球玻璃行业的一项颠覆性飞跃中,GlassKote FGI(简称GK)已确认获得超过12亿澳元的资金,用于建设两座全球最先进的低铁浮法玻璃厂——第一座将于2026年初在澳大利亚昆士兰州动工,第二座将在随后几个月于阿拉伯联合酋长国开工。


2、安佳玻璃完成全面资本重组
“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始,”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表,获得了大量新资本,现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验,并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段,我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”


3、EFG产能翻倍——霍恩玻璃作为关键技术合作伙伴
正如我们最近报道的那样,迪拜投资公司的子公司阿联酋浮法玻璃公司(EFG)将通过新增第二条浮法线,把产能从目前的每天600吨提升至1200吨,实现产能翻倍。
这条新生产线还将引入超白低铁玻璃的生产——这在中东和北非地区是首创的能力。
这条新的浮法生产线计划于2027年末至2028年初投入运营,将整合先进的自动化技术、节能系统和下一代过程控制技术,以确保稳定的产品质量、可靠的运营以及更低的能耗。


4、玻璃回收联盟与玻璃回收基金会合并
玻璃回收联盟(GRC)与玻璃回收基金会(GRF)今日宣布,它们已合并为一个单一组织,以玻璃回收基金会(GRF)的名义运作。此次合并将玻璃回收领域的两大领军力量联合起来,打造一个更强大、更高效的平台,以填补供应链缺口,并在全美范围内加快推进相关工作。合并后,专家、项目和资源将整合到同一个值得信赖的GRF旗下,便于社区和行业代表获取赠款、技术工具及最佳实践。


国内新闻
(以下排序不分先后)

1、曹德旺辞职
福耀玻璃公告称,公司董事长曹德旺因推动公司治理结构战略性优化与可持续发展的需要,辞去董事长职务,但将继续担任公司董事及部分子公司的董事、董事长和法定代表人职务。
同时,公司选举曹晖为新任董事长,并任命其为法定代表人及董事局战略发展委员会主任。曹德旺被委任为公司终身荣誉董事长。此次职务变动不会对公司正常经营活动产生不利影响。


2、攻坚克难!晶华玻璃大吨位熔窑生产金茶玻璃成功下线
近日,晶华玻璃公司金茶玻璃成功下线并实现稳定量产,突破了国内大吨位熔窑生产颜色玻璃的技术难关,标志着晶华玻璃在产品结构转型中取得新进展。这场“色彩蜕变” 的背后,离不开耀华集团颜色玻璃团队的技术支持,更凝聚着生产团队多日的全线攻坚。


3、凯盛集团首获中国专利金奖!
10月13日,第十四届中国国际专利技术与产品交易会开幕式暨第二十五届中国专利奖颁奖大会在辽宁省大连市举办。经中国专利奖评审委员会评审,社会公示,凯盛集团所属中研院集团和蚌埠中光电联合参评的发明专利“一种高世代TFT-LCD玻璃基板生产线”以不到1%的获奖率脱颖而出,作为30项获奖成果之一,被国家知识产权局和世界知识产权组织授予中国专利金奖。中国工程院院士、中国建材集团首席科学家、凯盛集团首席科学家彭寿作为中国专利金奖获奖代表讲话。


4、关于金宏阳1800t/d一窑三线生产线产能置换方案的公示
按照《水泥玻璃行业产能置换实施办法(2024年本)》(工信部原〔2024〕206号)要求,现将河北金宏阳太阳能科技股份有限公司1800t/d一窑三线电子级玻璃和汽车玻璃原片及光伏背板玻璃基片特种玻璃生产线项目产能置换方案予以公示,欢迎社会公众进行监督。公示期为2025年10月13日至2025年10月24日。


5、中玻跨境即将走进土耳其
土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。
展会时间:2025年11月15-18日
展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心


END
(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)


" alt="329期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.13" style="display: block;">

金牛座134